MEMS(Microelectromechanical Systems)微机电系统,将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术,它的操作范围在微米范围内,能够把力转化成电信号。MEMS器件应用在手机,健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备等日常电子产品中,MEMS在我们的生产生活可谓无处不在。
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