8月19日上午,南湖高新区微电子产业又添一员“猛将”——由青岛恩芯创始人张汝京主导的光罩材料产业链项目签约仪式在浙江嘉兴科技城(南湖高新区)智立方举行。签约仪式上,项目负责人张汝京博士为大家介绍了关于光罩的“知识点”。据介绍,光罩也称为光掩模版,在IC制造过程中,其作用是将设计好的电路进行显影,将图形投影在晶圆上,利用光刻技术进行蚀刻,是半导体光刻工艺中所需的高精密工具。
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